产品技术
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泛半导体工艺制程排气处理设备制造及系统集成商

Main Scrubber(Acid Alkali)

高品质净化塔塔体；高效率、低压损填料等配件强化防腐蚀风机；可空转防腐泵浦；FRP防腐风管；集成控制系统

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Main Scrubber(Acid Alkali)

VOCs有机废气处理系统

沸石分子筛转轮区分为处理区、再生区和冷却区三个功能区域，沸石分子筛转轮在各个功能区域内连续运转。

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VOCs有机废气处理系统

异味处理系统-干式化学过滤器

基本免维护，不需要配套复杂的控制系统和管路布置。

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异味处理系统-干式化学过滤器

特殊废气处理系统-NOx

工艺中产生的 NOₓ在氧化区和 O₃(臭氧) 进行反应后产生 NO₂和 O₂，NO₂和还原剂反应后产生 N₂及盐，N₂可直接排放；取代反应生成的盐，经监测 ORP 数值后和废水一起排出。

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特殊废气处理系统-NOx

Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)

含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质

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Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)

沸石转轮

分子筛吸附浓缩转轮呈圆盘状，内部由密集的蜂窝状孔道组成，孔道表面附着起吸附作用的分子筛，实际应用时，转轮由外围链条和电机带动运行，以每小时几转的速度缓慢旋转，吸附、脱附、冷却过程在转轮不同区域同时进行，实现对废气的连续处理。

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沸石转轮
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金广恒科技（南京）股份有限公司

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