产品技术
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泛半导体工艺制程排气处理设备制造及系统集成商

Local Scrubber

为低电力·高效率的小型化Torch

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Local Scrubber

Main Scrubber(Acid Alkali)

高品质净化塔塔体；高效率、低压损填料等配件强化防腐蚀风机；可空转防腐泵浦；FRP防腐风管；集成控制系统

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Main Scrubber(Acid Alkali)

VOCs有机废气处理系统

沸石分子筛转轮区分为处理区、再生区和冷却区三个功能区域，沸石分子筛转轮在各个功能区域内连续运转。

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VOCs有机废气处理系统

异味处理系统-干式化学过滤器

基本免维护，不需要配套复杂的控制系统和管路布置。

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异味处理系统-干式化学过滤器

特殊废气处理系统-NOx

工艺中产生的 NOₓ在氧化区和 O₃(臭氧) 进行反应后产生 NO₂和 O₂，NO₂和还原剂反应后产生 N₂及盐，N₂可直接排放；取代反应生成的盐，经监测 ORP 数值后和废水一起排出。

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特殊废气处理系统-NOx

特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等

主要应用于半导体、平面显示器(LCD)、二极体(LED)及石油化学制程等废气处理。对人体健康有害的空气污染物环境被称为危险空气污染物。通常来自工艺所产生的废气污染物质，其中特殊气体仅有部分被使用(制程反应), 废气排放包含未反应的特殊气体及其副产物。

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特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等
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