Local Scrubber
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为低电力·高效率的小型化Torch

产品详情



产品简介

  • 为低电力·高效率的小型化Torch
  • Plasma Flame和Gas接触圆滑的电极构造
  • CF4NF3SF等PFCs 气体的安全化分解处理
  • 电极寿命6个月以上的PM周期延长

工艺流程

  • Inlet Chamber:进入的气体和热能间圆滑Mixing的旋转构造
  • Reaction Chamber:气体完全分解区间,内部是使用耐腐蚀性耐火物(AI系列) 防止通过隔热材料排出热量
  • N2 Sleeve Part:N2Curtain形成膜构造,后端管道的Powder缓解积压

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