特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等
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系统概述
主要应用于半导体、平面显示器(LCD)、二极体(LED)及石油化学制程等废气处理。对人体健康有害的空气污染物环境被称为危险空气污染物。通常来自工艺所产生的废气污染物质，其中特殊气体仅有部分被使用(制程反应), 废气排放包含未反应的特殊气体及其副产物。
处理原理
吸附：砷化氢(AsH3)及磷化氢(PH3)等气体被吸附剂分子栓结构吸附，吸附剂有效成份将有害气体强迫反应成固化物。
为不可逆反应，反应方程式如下：
2AsH3+3CuO→Cu3As2+3H2O 2PH3+3CuO→Cu3P2+3H2O
燃烧：通过 Plasma 高温、分解、燃烧(1000℃↑)产生NOx 排出，产生废水(HNO3)PH中和后排出。
特点
高效率：出口废气浓度保证达标。通过在线气体侦测器和指示剂(变色球)验证性能。
火灾风险低：以化学吸收(酸碱中和)替代活性碳之物理吸附(凡德瓦力),火灾的风险低，维护成本低。
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