泛半导体工艺制程排气处理设备制造及系统集成商

Local Scrubber


为低电力·高效率的小型化Torch

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特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等


主要应用于半导体、平面显示器(LCD)、二极体(LED)及石油化学制程等废气处理。对人体健康有害的空气污染物环境被称为危险空气污染物。通常来自工艺所产生的废气污染物质,其中特殊气体仅有部分被使用(制程反应), 废气排放包含未反应的特殊气体及其副产物。

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