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Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)
含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质
分类
产品详情
主要组成部分
高压电极收集区
设备外壳塔体
高压变压整流器
集成控制系统
适用行业
半导体、电子、光伏等行业
特点
粉尘去除率达到99%
国内最先进的专业PM2.5去除设备
压损低、能耗低、持续水洗清灰
体积小、寿命高、维护方便
适用范围
含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质
E.P使用目的:PLASMA PART的 PFCs气体处理后产生的高浓度 Powder及HF(粒子)减少排除的部分
通过流体流动的两端之间的电不平等电系,荷电的粒子被两端之间的电位差所吸引捕集
- E.P PART:微细 Powder/Mist,最终段捕集处理的机能
- 捕集的Powder,通过定期 Cleaning机能,流入Wet Tank在Drain时排出
- 放电极是耐蚀性,对比现有材质,使用效率优秀的哈氏合金(Hastelloy-C276)

金广恒科技(南京)股份有限公司
地址:江苏省南京市江宁区淳化街道塘家路12号
深圳市新广恒环保技术有限公司
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东莞市金广恒环保节能技术有限公司
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江苏金广恒工业设备制造有限公司
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江苏高顿威科技有限公司
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GOLDENWAY ENVIRONMENTAL TECHNOLOGY (THAILAND)CO.,LTD(泰国)
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GOLDENWAY INVESTMENT DEVELOPMENT PTE. LT(新加坡)
地址:91 BENCOOLEN STREET, #12-03, SUNSHINE PLAZA
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