Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)
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Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)

含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质

产品详情



主要组成部分

高压电极收集区

设备外壳塔体

高压变压整流器

集成控制系统

适用行业

半导体、电子、光伏等行业

特点

粉尘去除率达到99%

国内最先进的专业PM2.5去除设备

压损低、能耗低、持续水洗清灰

体积小、寿命高、维护方便

适用范围

含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质

 

E.P使用目的:PLASMA PART的 PFCs气体处理后产生的高浓度 Powder及HF(粒子)减少排除的部分

通过流体流动的两端之间的电不平等电系,荷电的粒子被两端之间的电位差所吸引捕集

  • E.P PART:微细 Powder/Mist,最终段捕集处理的机能
  • 捕集的Powder,通过定期 Cleaning机能,流入Wet Tank在Drain时排出
  • 放电极是耐蚀性,对比现有材质,使用效率优秀的哈氏合金(Hastelloy-C276)

 

 

 

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