泛半导体工艺制程排气处理设备制造及系统集成商

Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)


含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质

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沸石转轮


分子筛吸附浓缩转轮呈圆盘状,内部由密集的蜂窝状孔道组成,孔道表面附着起吸附作用的分子筛,实际应用时,转轮由外围链条和电机带动运行,以每小时几转的速度缓慢旋转,吸附、脱附、冷却过程在转轮不同区域同时进行,实现对废气的连续处理。

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离心风机


专业流体设计 | 风机空气动力性能测试

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FRP TANK


一种轻质、高强、耐腐蚀的非金属储存罐先进、钢度强、耐化学腐蚀、轻质高强,不结垢,抗震性强、使用寿命长,综合造价低,安装快捷,安全可靠

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工艺制程排气系统


一种轻质、高强、耐腐蚀的非金属管道管壁结构合理先进、钢度强、耐化学腐蚀、轻质高强,不结垢,抗震性强、使用寿命长,综合造价低,安装快捷,安全可靠

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