产品技术
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泛半导体工艺制程排气处理设备制造及系统集成商

特殊废气处理系统-NOx

工艺中产生的 NOₓ在氧化区和 O₃(臭氧) 进行反应后产生 NO₂和 O₂，NO₂和还原剂反应后产生 N₂及盐，N₂可直接排放；取代反应生成的盐，经监测 ORP 数值后和废水一起排出。

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特殊废气处理系统-NOx

特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等

主要应用于半导体、平面显示器(LCD)、二极体(LED)及石油化学制程等废气处理。对人体健康有害的空气污染物环境被称为危险空气污染物。通常来自工艺所产生的废气污染物质，其中特殊气体仅有部分被使用(制程反应), 废气排放包含未反应的特殊气体及其副产物。

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特殊废气处理系统‑AsH₃、PH₃、B₂H₆、NH₃等

Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)

含湿气体中的尘、酸雾、气溶胶、臭味、PM2.5等有害物质

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Wet-EP System(Bay, Mid, Roof)

沸石转轮

分子筛吸附浓缩转轮呈圆盘状，内部由密集的蜂窝状孔道组成，孔道表面附着起吸附作用的分子筛，实际应用时，转轮由外围链条和电机带动运行，以每小时几转的速度缓慢旋转，吸附、脱附、冷却过程在转轮不同区域同时进行，实现对废气的连续处理。

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沸石转轮

离心风机

专业流体设计 | 风机空气动力性能测试

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离心风机

FRP TANK

一种轻质、高强、耐腐蚀的非金属储存罐先进、钢度强、耐化学腐蚀、轻质高强，不结垢，抗震性强、使用寿命长，综合造价低，安装快捷，安全可靠

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FRP TANK
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金广恒科技（南京）股份有限公司

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